电导率≤0.1μs/cm@25℃，电阻率10-16MΩ.cm@25℃；水质达到中国国家分析实验室用水（GB/T6682-2008）一级水标准；

　　吸光度（254nm,1cm光程）≤0.01可溶性硅[以（SiO2）计]，mg/L＜0.02

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